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资料机能

项目
规格
检测步骤
成长方式
直拉法
--
结晶性
单晶
--
导电类型
P型
P/N型测试仪
尺寸
M10：182.2*182.2*φ247mm G12： 210*210*φ295mm
硅片自动检测设备
厚度
M10：150±10?m 140±10?m G12：150±10?m
硅片自动检测设备
项目:
成长方式
规格:
直拉法
检测步骤:
--
项目:
结晶性
规格:
单晶
检测步骤:
--
项目:
导电类型
规格:
P型
检测步骤:
P/N型测试仪
项目:
尺寸
规格:
M10：182.2*182.2*φ247mm G12： 210*210*φ295mm
检测步骤:
硅片自动检测设备
项目:
厚度
规格:
M10：150±10?m 140±10?m G12：150±10?m
检测步骤:
硅片自动检测设备

电机能

项目
规格
检测步骤
电阻率
0.4-1.1 Ω.cm
硅片自动检测设备
少子寿命
≥70μs
准稳态光电导衰减法/瞬态光电导衰减法 注入水平：1E15 cm??（Sinton BCT-400）
氧含量
≤7.5E+17 at/cm?
嘎凤叶变换红表光谱仪
碳含量
≤ 5E+16 at/cm?
嘎凤叶变换红表光谱仪
项目:
电阻率
规格:
0.4-1.1 Ω.cm
检测步骤:
硅片自动检测设备
项目:
少子寿命
规格:
≥70μs
检测步骤:
准稳态光电导衰减法/瞬态光电导衰减法 注入水平：1E15 cm??（Sinton BCT-400）
项目:
氧含量
规格:
≤7.5E+17 at/cm?
检测步骤:
嘎凤叶变换红表光谱仪
项目:
碳含量
规格:
≤ 5E+16 at/cm?
检测步骤:
嘎凤叶变换红表光谱仪

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